• 圣堂资讯：
    “……已启动浸没式深紫外（DUV）光刻机的小规模批量生产，预计今年内向中芯国际、华虹半导体及长鑫存储等主要芯片制造商交付首批约5台设备，2027年产量计划提升至约20台。这款中国产光刻机主打28纳米芯片生产，还可满足7纳米级别芯片的制造需求……公司名为上海爱晟纳电子科技集团……”
    2026-07-29